Độ phân giải cao 2D và 3DXHệ thống RayFF70 CL

Độ phân giải cao 2D và 3D để phân tích hoàn toàn tự động các khuyết tật tối thiểuXHệ Ray

Do các khiếm khuyết trên chip, chất nền, dải hoặc trong các thành phần của sản phẩm cuối cùng, sản xuất chất bán dẫn cần được thực hiện tối ưu với sự trợ giúp của tự động hóa, chất lượng cao, kiểm tra không phá hủy đáng tin cậy và phân tích nhanh chóng. Loại mớiFF70 CL XHệ thống phát hiện tia được thiết kế đặc biệt để thực hiện phân tích tự động tối ưu cho các khiếm khuyết nhỏ nhất và đòi hỏi khắt khe nhất trong các mẫu này. Kết quả: Kiểm tra và phát hiện rất chính xác và lặp lại với hiệu suất tuyệt vời.

L Cải thiện giám sát chất lượng để kiểm tra nhiều vị trí hơn với độ phân giải cao hơn, do đó xác định các lỗi có thể bị bỏ qua

L Tăng sản lượng bằng cách giảm đáng kể chi phí với phạm vi thử nghiệm tốt hơn

L Kiểm tra đáng tin cậy và lặp lại về tính nhất quán của các thông số kỹ thuật và khuyết tật có thể được thực hiện bất cứ lúc nào

L Giải pháp phân tích tự động sáng tạo này rất dễ sử dụng và tối ưu hóa chi phí vận hành

Khả năng hệ thống

FF70 CLVới diện tích phát hiện lớn, tức là,510 x 610mmvà độ sâu phát hiện cực kỳ tinh vi, tức là, ít hơn150nm, rất thích hợp để tiến hành phân tích tự động, không phá hủy các điểm lồi hàn và lấp đầy lỗ trong mạch tích hợp ba chiều, chip và chip.

Cơ chế chân không sáng tạo của bàn vận hành hệ thống cho phép giữ mẫu một cách an toàn và chính xác trong quá trình phân tích và chống lại tác động của sự cong vênh của mẫu.

FF70 CLThiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (CL-Máy tính chụp ảnh lớp) Phân tích tự động, sử dụng bộ tăng cường hình ảnh độ phân giải cao để xoay nghiêng trong các thành phần hoạt động đặc biệt.

Nano Focus thế hệ mới nhấtXỐng tia có thể tạo ra hình ảnh hai chiều và ba chiều có thể hiển thị và đo khoảng trống và chức năng tối thiểu, cho phépFF70 CLKhả năng phân tích các câu đố bán dẫn tiên tiến đòi hỏi khắt khe nhất.

Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (giao diện GUIDễ sử dụng và trực quan, cho phép người dùng dễ dàng tạo các chương trình phát hiện phân tích tự động, đa điểm và đa chức năng.

Kiểm tra hiệu chuẩn nền cho tất cả các khía cạnh của hệ thống giám sát tự động, liên tục có thể đảm bảo tính lặp lại của phép đo theo thời gian.

Xem các thuộc tính hệ thống:

L Phân tích thông lượng cao tự động có thể thực hiện, lặp lại tốt và kết quả đáng tin cậy

L Các chương trình phát hiện phân tích tự động, đa điểm và đa chức năng có thể được tạo đơn giản, cho phép thay đổi nhanh chóng giữa các nhiệm vụ lấy mẫu và đo lường

L Giám sát và tối ưu hóa nền liên tục có thể được thực hiện để đảm bảo tính lặp lại và chính xác của phép đo

Thông số kỹ thuật